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| 傳統光氧催化凈化設備 | 微波催化氧化凈化設備 |
| 一次性投入 | 低 | 低 |
| 處理效果 | 大于90% | 大于99% |
| 燈管運行時間 | 小于6000小時 | 大于60000小時 |
| 運行費用 | 高（常規使用環境下，燈管和整流器6000小時必須更換） | 低（燈管無需更換） |
| 適用范圍 | 適用于潔凈的環境、不耐高溫、高濕度和腐蝕 | 適用各種惡劣現場、耐100度以下高溫、濕度飽和條件下正常運行、耐腐蝕（304不銹鋼和石英玻璃材質） |
| 安裝 | 非常麻煩,每一組燈管需6-7根電源線,接線麻煩,相互存在電磁干擾 | 簡單,電氣箱和廢氣腔體*隔離,中間無需任何電氣連接 |
| 清潔 | 所有燈管拆卸后單根管子擦拭，不能直接用液體清潔。 | 直接可以通過專門的清潔孔噴淋液體清潔，經排污口排出后繼續使用，無需拆卸 |
| 維護 | 非常麻煩，元件損壞必須整個電氣回路一起更換 | 簡單 |
| 防爆 | 有電極，可隨時產生電弧，存在爆炸危險 | 沒有電極，很大程度上降低了防爆系統 |
